华体会手机在线登陆:稷以科技请求离子能量操控筛网设备专利显着提高原子层刻蚀工艺的挑选比
来源：华体会手机在线登陆 发布时间：2026-01-14 15:49:18
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国家知识产权局信息数据显现，上海稷以科技有限公司请求一项名为“一种离子能量操控筛网设备及半导体刻蚀设备”的专利，公开号CN121306896A，请求日期为2025年10月。
专利摘要显现，本发明触及半导体设备技术领域，更具体地说，触及一种用于原子层刻蚀的离子能量操控筛网设备及半导体刻蚀设备。本设备至少包含榜首金属网、第二金属网、第三金属网和第四金属网，以及电场电极板；榜首金属网和第二金属网顺次设置；电场电极板，设置在第二金属网和第三金属网之间；第四金属网，设置在第三金属网下方；其间，榜首金属网和第二金属网的孔阵列对齐设置；第三金属网的孔阵列图画相对于第二金属网的孔阵列图画在平行于网面的方向上错开设置；第四金属网和第三金属网的孔阵列对齐设置。本发明完成了原子层刻蚀工艺窗口的精准匹配，显着提高原子层刻蚀工艺的挑选比、方向性和改进外表粗糙度。
天眼查资料显现，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，坐落上海市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。经过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外出资了6家企业，参加招投标项目89次，产业线条，此外企业还具有行政许可14个。
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